英特爾Fab 52投入18A量產(chǎn)
關(guān)鍵詞: 英特爾Fab廠 EUV光刻機(jī) Intel 18A 英特爾

英特爾(Intel)正式揭開亞利桑那州Fab廠神秘面紗,宣示將成為美國(guó)先進(jìn)芯片制造的關(guān)鍵推手。其中,位于錢德勒市Ocotillo園區(qū)的Fab 52已導(dǎo)入4臺(tái)荷商艾司摩爾(ASML)極紫外光(EUV)光刻機(jī)設(shè)備,并預(yù)留兩座再擴(kuò)充空間,未來可依客戶需求隨時(shí)「上膛」擴(kuò)產(chǎn)。現(xiàn)階段Fab 52已投入Intel 18A最新處理器的量產(chǎn)。
英特爾CEO陳立武近期親赴亞利桑那視察,外界解讀,憑借他與全球芯片大廠的良好關(guān)系,英特爾有望吸引更多外部客戶代工,重塑全球晶圓制造版圖。
Ocotillo園區(qū)是英特爾經(jīng)營(yíng)超過45年的重鎮(zhèn),從早期的Fab 12到2021年動(dòng)土的Fab 52,累計(jì)投資已超過500億美元。實(shí)地走入量產(chǎn)中的Fab 52,可見頭頂?shù)腛HT(自動(dòng)天車)系統(tǒng)高速運(yùn)轉(zhuǎn),生產(chǎn)下一代Panther Lake與Clearwater Forest晶片。最醒目的是三層樓高的第三代EUV設(shè)備,為容納這「生產(chǎn)巨獸」,廠房特別加高設(shè)計(jì)。
據(jù)設(shè)備業(yè)者透露,該EUV機(jī)臺(tái)每小時(shí)產(chǎn)能(WPH)約為195片晶圓,后續(xù)可提升至220片。 Intel 18A月產(chǎn)能預(yù)估將于年底起以每月1,000至5,000片速度拉升(ramp-up),2026年上看1萬至1.5萬片,2027年后可達(dá)3萬片水準(zhǔn),并預(yù)留再添兩臺(tái)EUV的空間。
據(jù)了解,完成前段制程的晶圓,將送往新墨西哥州封裝廠進(jìn)行后段制程,實(shí)現(xiàn)「全美制造(Made in USA)」的芯片生產(chǎn)鏈。