12月22日晚間，萬業(yè)企業(yè)(600641.SH)發(fā)布公告，公司攜手寧波芯恩成立長三角一體化示范區(qū)(浙江嘉善)嘉芯半導(dǎo)體設(shè)備科技有限公司(以下簡稱“嘉芯半導(dǎo)體”)，以20億元總投資規(guī)模，重點打造國內(nèi)集成電路設(shè)備龍頭企業(yè)，覆蓋刻蝕、薄膜沉積、快速熱處理及退火、清洗設(shè)備等多款集成電路核心前道設(shè)備，形成“1+N”產(chǎn)品平臺模式，多方位布局半導(dǎo)體核心設(shè)備賽道。

　　據(jù)公告顯示，嘉芯半導(dǎo)體成立于2021年4月，萬業(yè)企業(yè)持股占比80%為其第一大股東，寧波芯恩持股占比20%。2021年12月22日，嘉芯半導(dǎo)體與嘉善縣西塘鎮(zhèn)人民政府簽訂項目投資協(xié)議書和補充協(xié)議。項目未來將形成年產(chǎn)2450臺/套新設(shè)備和50臺/套半導(dǎo)體翻新裝備研發(fā)及制造基地，用地面積109畝，投資總額達20億元，萬業(yè)企業(yè)作為控股股東出資不超過8億元。

　　目前，全球半導(dǎo)體市場芯片供應(yīng)緊縮、芯片需求爆發(fā)，銷售額連續(xù)17個月同比正增長，晶圓廠商紛紛加大資本開支進行擴產(chǎn)。2020 年中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷售額達187億美元，全球占比約30%。據(jù)集微咨詢數(shù)據(jù)，目前大陸地區(qū)晶圓廠現(xiàn)有產(chǎn)能折合8寸約162萬片/月，總規(guī)劃產(chǎn)能折合8寸為462萬片/月，潛在擴產(chǎn)產(chǎn)能折合8寸達到300萬片/月。從2021年來看，預(yù)計新增產(chǎn)能折合8寸64萬片/月，未來幾年晶圓廠擴產(chǎn)將持續(xù)活躍帶動高位設(shè)備需求。同時，由于設(shè)備技術(shù)位于行業(yè)頂尖高端技術(shù)水平，對于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展具有戰(zhàn)略性支撐地位，因此國產(chǎn)替代是國內(nèi)晶圓廠的共識，這將為國產(chǎn)設(shè)備帶來發(fā)展機遇期。當(dāng)前國內(nèi)半導(dǎo)體市場仍以進口設(shè)備為主，設(shè)備國產(chǎn)率仍偏低。根據(jù)《中國制造2025》的規(guī)劃，2025年半導(dǎo)體核心基礎(chǔ)零部件、關(guān)鍵基礎(chǔ)材料應(yīng)實現(xiàn)70%的自主保障。而萬業(yè)企業(yè)以原有離子注入機業(yè)務(wù)疊加嘉芯半導(dǎo)體打造“1+N”模式，可進一步增厚設(shè)備技術(shù)護城河，筑基多產(chǎn)品設(shè)備龍頭地位。

　　嘉芯半導(dǎo)體致力于開拓國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域市場，未來將形成以刻蝕設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備、快速熱處理及退火設(shè)備、清洗設(shè)備尾氣處理設(shè)備等為主的研發(fā)制造及再制造能力，實現(xiàn)半導(dǎo)體關(guān)鍵設(shè)備的自主可控。公司將設(shè)立6個子公司，2個事業(yè)部，主要從事刻蝕機、快速熱處理、薄膜沉積、單片清洗機、槽式清洗機、尾氣處理、機械手臂等8寸和12寸半導(dǎo)體新設(shè)備開發(fā)生產(chǎn)及設(shè)備再制造等相關(guān)業(yè)務(wù)，產(chǎn)品范圍覆蓋芯片制造核心設(shè)備的大部分品類，可自主研發(fā)和再制造刻蝕、薄膜沉積、清洗設(shè)備等10類產(chǎn)品。值得一提的是，伴隨功率器件、MEMS、電源管理芯片等特色工藝應(yīng)用的快速增長推動了8英寸晶圓需求爆發(fā)，該項目將先后布局8寸設(shè)備與12寸設(shè)備市場，有望為當(dāng)下主流成熟制程提供高性能的產(chǎn)品。

　　此外，嘉芯半導(dǎo)體第二大股東為寧波芯恩，持股占比20%。據(jù)企查查顯示，寧波芯恩的主要股東為“華人半導(dǎo)體教父”中芯國際創(chuàng)始人張汝京博士，張博士是全球知名半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)著名的技術(shù)與運營管理專家，擁有40+年的半導(dǎo)體集成電路微納工程制造技術(shù)、材料、裝備等領(lǐng)域的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)歷。他在美國德州儀器工作了20年，從TI提早退休后，曾任臺灣世大半導(dǎo)體總經(jīng)理。2000年，張汝京博士募集14億美元創(chuàng)辦中芯國際，向世界芯片制造第一梯隊沖刺。隨后，陸續(xù)在國內(nèi)投資了幾家LED企業(yè)。2014年創(chuàng)辦新昇半導(dǎo)體，為大陸半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)彌補了硅材料的短板。2018年，張汝京博士再次創(chuàng)業(yè)，投身于大陸首個共享共有式集成電路制造(CIDM)項目芯恩半導(dǎo)體。

　　近年來，萬業(yè)企業(yè)轉(zhuǎn)型聚焦半導(dǎo)體設(shè)備和材料領(lǐng)域，2018年率先收購凱世通，進而成為全球少數(shù)掌握全領(lǐng)域離子注入機核心設(shè)備技術(shù)的高新企業(yè)。今年5月，萬業(yè)企業(yè)旗下的凱世通低能大束流離子注入機率先在國內(nèi)12英寸主流集成電路芯片制造廠完成設(shè)備驗證驗收工作，這也是國產(chǎn)首臺完成主流客戶驗證并確認收入的國產(chǎn)低能大束流設(shè)備，標(biāo)志國產(chǎn)化設(shè)備在成熟工藝這一重大技術(shù)領(lǐng)域取得商用化突破。此外，凱世通重金屬離子注入機和超低溫大束流離子注入機已完成客戶交付，高能離子注入機設(shè)備按客戶交付計劃進行組裝，同時公司與國內(nèi)另一家12英寸芯片制造廠分別簽署1臺低能大束流超低溫離子注入機和1臺高能離子注入機訂單。值得一提的是，2020年萬業(yè)企業(yè)聯(lián)合境內(nèi)外投資人收購Compart Systems，提升集成電路設(shè)備領(lǐng)域核心組件與部件的國產(chǎn)化率，填補本土供應(yīng)鏈空白。

　　本次成立的嘉芯半導(dǎo)體項目疊加其原有的凱世通離子注入機業(yè)務(wù)，萬業(yè)企業(yè)打造的“1+N”全領(lǐng)域前道設(shè)備平臺化效應(yīng)進一步凸顯，將成為目前國內(nèi)設(shè)備品類最為齊全的集成電路龍頭平臺企業(yè)之一。

　　未來，萬業(yè)企業(yè)將通過自主研發(fā)與外延式并購雙輪驅(qū)動，扎實推動公司快速向集成電路產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域轉(zhuǎn)型，不斷提高集成電路的整體業(yè)務(wù)占比，增厚公司核心競爭力。隨著半導(dǎo)體設(shè)備自主可控的緊迫性和必要性進一步凸顯，國產(chǎn)替代進程正全面提速，萬業(yè)企業(yè)將助力國產(chǎn)高端半導(dǎo)體設(shè)備材料步入加速上升通道，持續(xù)推動中國集成電路產(chǎn)業(yè)健康蓬勃發(fā)展。