晶圓月產(chǎn)能7萬片，良率可達99%，中芯國際又一重大項目量產(chǎn)
2021-07-08
來源：OFweek電子工程網(wǎng)
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據(jù)浙江日報報道稱，位于浙江紹興的中芯紹興成功完成晶圓設(shè)備鏈調(diào)試。8 英寸晶圓月產(chǎn)能增至 7 萬片，良品率達 99％。目前半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用范圍最廣的是 8 英寸、12 英寸晶圓。中芯紹興量產(chǎn)成功的 8 英寸晶圓，可用于智能汽車、智能家居家電的芯片制造。
據(jù)悉，中芯紹興成立于2018年3月，由中芯國際和紹興集成電路產(chǎn)業(yè)基金聯(lián)合設(shè)立，一期總投資58．8億元，從中芯國際轉(zhuǎn)移并擴建一條8英寸特殊工藝芯片生產(chǎn)線和模組封裝生產(chǎn)線，提供微機電（MEMS）和功率器件（IGBT、MOSFET）芯片和模組生產(chǎn)服務(wù)。
中芯紹興布局三大工藝平臺：一是 MEMS 平臺，包括 MEMS 麥克風(fēng)、壓力傳感器、超聲波傳感器、振蕩器、加速度計、陀螺儀；二是 MOSFET 工藝平臺，包括溝槽式 MOSFET、分柵式 MOSFET 以及超結(jié) MOSFET；三是立足場截止型（Field Stop）IGBT 結(jié)構(gòu)。
