投資超50億元!全國(guó)首條8英寸MEMS晶圓全自動(dòng)生產(chǎn)線投產(chǎn)
據(jù)中電二公司消息,近日,由中電二公司承建的中國(guó)蚌埠傳感谷8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線EPC項(xiàng)目首批產(chǎn)品成功下線,標(biāo)志著全國(guó)首條8英寸MEMS晶圓全自動(dòng)生產(chǎn)線、全國(guó)首條工藝設(shè)備配套齊全的壓電MEMS量產(chǎn)線正式投產(chǎn)。
項(xiàng)目總建設(shè)投資達(dá)50.6億元,占地約79畝,總建筑面積約6萬平方米。作為國(guó)家級(jí)重點(diǎn)項(xiàng)目、全部建成投產(chǎn)后,將具備月產(chǎn)3萬片晶圓的能力,成為國(guó)內(nèi)產(chǎn)出最大的MEMS全自動(dòng)晶圓生產(chǎn)線。
據(jù)經(jīng)開區(qū)生態(tài)環(huán)境分局消息,2024年8月23日,我局受理了《安徽華鑫微納集成電路有限公司8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表》(重新報(bào)批),現(xiàn)對(duì)該報(bào)告全本進(jìn)行公示。根據(jù)公示,該項(xiàng)目為“8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線項(xiàng)目”,建設(shè)地點(diǎn)在安徽省蚌埠市經(jīng)開區(qū)中國(guó)(蚌埠)傳感谷東側(cè)地塊,建設(shè)單位為安徽華鑫微納集成電路有限公司。8 英寸 MEMS 晶圓生產(chǎn)線項(xiàng)目由安徽華鑫微納集成電路有限公司投資506175 萬元興建,位于安徽省蚌埠市經(jīng)開區(qū)中國(guó)(蚌埠)傳感谷東側(cè)地塊,總占地面積約 103000m2,項(xiàng)目分二期建設(shè)。
據(jù)蚌埠發(fā)布報(bào)道,2024年10月20日,蚌埠傳感谷八寸線配套生產(chǎn)廢水集中處理站EPC項(xiàng)目順利完成主體結(jié)構(gòu)封頂,正式步入設(shè)備安裝及裝飾裝修階段。