奕斯偉“氣體回收裝置和外延設(shè)備”專利公布
2025-09-28
來源:愛集微
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關(guān)鍵詞: 氣體回收裝置 外延設(shè)備 奕斯偉專利
天眼查顯示,西安奕斯偉材料科技股份有限公司“氣體回收裝置和外延設(shè)備”專利公布,申請公布日為2025年3月21日,申請公布號為CN119663436A。

本公開提供了氣體回收裝置和外延設(shè)備,所述氣體回收裝置用于回收外延反應(yīng)腔室內(nèi)的氣體,所述氣體回收裝置包括:導(dǎo)管和氣體收集容器,其中,所述導(dǎo)管的第一端與所述外延反應(yīng)腔室連通,所述導(dǎo)管的第二端與所述氣體收集容器連通;所述導(dǎo)管的內(nèi)部設(shè)置有用于促進(jìn)氣體向所述氣體收集容器流動的導(dǎo)引部。