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深圳企業(yè),18年僅造出15臺機器,但可測量0.1nm芯片

2023-12-11 來源:科技專家
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關(guān)鍵詞: 半導(dǎo)體 硅晶圓 芯片

眾所周知,測量儀器是所有行業(yè)中不可缺少的設(shè)備,半導(dǎo)體領(lǐng)域更是如此,比如硅晶圓的平整度、芯片的大小、光線的波長,各種設(shè)備的分辨率等等。


而有一家深圳企業(yè),18年來,只造出了15臺測量儀器,但這些測量儀器,可不簡單,針對的都是工業(yè)需求中的測量難題,最高分辨率可達0.1nm,理論上最高可測量0.1nm的芯片。



這家深圳企業(yè)叫做深圳市中圖儀器股份有限公司,近日還上了央視的新聞報道。


中圖儀器成立于2005年,一直致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。


其生產(chǎn)出來的設(shè)備,用于基礎(chǔ)計量,光學(xué)測量、微觀尺寸測量、行業(yè)應(yīng)用檢測等等,其分辨率可從0.1nm到幾百米。



這些設(shè)備,屬于科研儀器一種,可以應(yīng)用于光學(xué)測量,比如測量鏡面平整不平整;可以用于半導(dǎo)體領(lǐng)域,比如看看制造出來的硅晶圓平整不平整,起伏有多高。


對硅晶圓而言,平整度是有要求的,一旦平整度不夠高,是不能用于芯片制造的,否則良率會非常低。


還可以用于測量芯片的大小,平整度等,比如央視的新聞中,就是直接對晶圓表面的6.1nm顯微測量,發(fā)現(xiàn)其高度差有6.1納米,還需要切割才能使用。



目前國內(nèi)的科研儀器,基本上是靠進口的,2022年數(shù)據(jù),科研儀器的國產(chǎn)化率不到10%,其中高端科研儀器,國產(chǎn)化率更是接近于0。


測量儀器屬于科研儀器中占比較高的一個品類,國產(chǎn)能夠達到0.1nm這種全球頂級水平,自然是非常重要的。


就拿半導(dǎo)體設(shè)備市場而言,測量儀器一直就是核心設(shè)備,之前主要采用的是日本、美國的設(shè)備,但如今有了這種能分辨率達到0.1nm的測量儀器,估計可以實現(xiàn)國產(chǎn)替代了。



不過,大家也要注意的是,科研儀器很多都是配套的,這些儀器也是有生態(tài)的,單一的儀器突破,如果不能融入原來的生態(tài)中,要替代也是不容易的。


所以接下來期待其它國產(chǎn)儀器不斷的突破,大家也形成一個完整的生態(tài),對國外的儀器、設(shè)備等進行替代,才是真正的高枕無憂。



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