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2納米無需EUV光刻機(jī),ASML或面臨滅頂之災(zāi),難怪加緊對(duì)中國出貨了

2023-11-01 來源: 柏銘007
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關(guān)鍵詞: 存儲(chǔ)芯片 中國芯 臺(tái)積電

ASML曾表示全球5納米以下的工藝必需它的EUV光刻機(jī),誰也無法替代它的地位,然而如今卻有廠商表示可以繞開EUV光刻機(jī)生產(chǎn)先進(jìn)工藝,嚇壞了ASML。



在光刻機(jī)行業(yè),除了ASML之外,其實(shí)還有日本的尼康和佳能,尼康已研發(fā)成功浸潤式光刻機(jī),不過它的光刻機(jī)技術(shù)與ASML存在較大差距,這也導(dǎo)致尼康難以與ASML競爭。


佳能則認(rèn)識(shí)到在光刻機(jī)市場已很難與ASML競爭,選擇了另辟蹊徑發(fā)展新的芯片制造設(shè)備,那就是NIL納米壓印技術(shù),該項(xiàng)技術(shù)在幾年前就已取得突破,并被日本鎧俠用于生產(chǎn)存儲(chǔ)芯片。


不過此前NIL技術(shù)只能用于生產(chǎn)10納米以上的工藝,去年佳能表示量產(chǎn)了10納米的NIL工藝,近期佳能更表示5納米的NIL工藝也已突破,預(yù)計(jì)到2026年實(shí)現(xiàn)2納米的NIL工藝。


相比起采用EUV光刻機(jī)生產(chǎn)5納米以下的先進(jìn)工藝,NIL工藝的成本可以降低三成到五成,越先進(jìn)的工藝成本就比ASML更低,這已獲得了業(yè)界的認(rèn)可,近期SK海力士就采用了NIL工藝,這是日本廠商之外第一家采用佳能NIL設(shè)備。



中國芯片行業(yè)對(duì)此相當(dāng)感興趣,由于ASML受制于美國無法對(duì)中國出售EUV光刻機(jī),中國芯片行業(yè)一直都在研發(fā)自己的光刻機(jī),同時(shí)探尋研發(fā)繞開EUV光刻機(jī)芯片制造技術(shù)。


ASML曾聲言即使給中國圖紙,中國也無法生產(chǎn)出光刻機(jī),然而近期華為推出了一款5G手機(jī)mate60Pro,據(jù)稱采用了國產(chǎn)的浸潤式光刻機(jī),這是國產(chǎn)芯片制造設(shè)備的重大進(jìn)步。


隨著中國在芯片設(shè)備方面的重大突破,中國在繞開EUV光刻機(jī)的芯片制造技術(shù)上預(yù)計(jì)也將取得重大進(jìn)展,畢竟已有日本的NIL工藝作為指引,可以預(yù)期中國將很快研發(fā)出無需EUV光刻機(jī)的先進(jìn)工藝。



佳能的NIL工藝正在大舉搶占ASML的市場,畢竟它的生產(chǎn)成本更低,在如今美光、三星等存儲(chǔ)芯片業(yè)務(wù)虧損嚴(yán)重的情況下,有助于降低成本的NIL工藝將很快風(fēng)行。


至于最大客戶臺(tái)積電由于3納米工藝表現(xiàn)不佳,它已停止采購EUV光刻機(jī),還將多臺(tái)生產(chǎn)線上的EUV光刻機(jī)停產(chǎn);另一大客戶Intel出現(xiàn)巨虧,Intel 4生產(chǎn)線放緩量產(chǎn),更不會(huì)采購EUV光刻機(jī)。


幾個(gè)大客戶都在減少乃至停止采購,還面臨佳能搶占市場,這讓ASML相當(dāng)擔(dān)憂自己的前景,如此僅剩下的大市場--中國市場就備受ASML關(guān)注,但是正如上述中國在浸潤式光刻機(jī)方面已取得突破,無需EUV光刻機(jī)的技術(shù)也在推進(jìn),留給ASML的時(shí)間已經(jīng)不多了。


于是今年三季度ASML趕緊大舉對(duì)中國出售光刻機(jī),它公布的業(yè)績顯示今年三季度從中國市場獲得的收入高達(dá)46%,較去年的低谷8%增長了4倍多,可見ASML對(duì)于搶占中國市場多么迫切。



現(xiàn)實(shí)證明ASML的光刻機(jī)生意已很難長久,它也表示第二代EUV光刻機(jī)將是它最后一款光刻機(jī),光刻機(jī)業(yè)務(wù)將走到盡頭,中國這個(gè)超級(jí)大市場將是它的最后紅利,爭取中國市場已是它最后的選擇。



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