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有點(diǎn)搞笑了,佳能5nm納米壓印技術(shù),也離不開(kāi)EUV光刻機(jī)

2023-10-27 來(lái)源:科技專家
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關(guān)鍵詞: 佳能 ASML

眾所周知,前段時(shí)間,佳能官宣自己的FPA-1200NZ2C光刻設(shè)備,可以出貨了,這種光刻設(shè)備,采用的是NIL納米壓印技術(shù),可以制造 5 nm 芯片。


一時(shí)之間,全網(wǎng)沸騰,大家都表示,這是繞開(kāi)了ASML的EUV光刻機(jī),能直接生產(chǎn)5nm芯片,是一個(gè)偉大的進(jìn)步,ASML接下來(lái)估計(jì)要哭了。



畢竟之前所有的芯片制造,進(jìn)入5nm時(shí),必須使用EUV光刻機(jī),而EUV只有ASML能夠制造,所以ASML是高端光刻機(jī)的王者,現(xiàn)在佳能攪局,讓大家不需要從ASML采購(gòu)EUV光刻機(jī),也能夠生產(chǎn)芯片,當(dāng)然對(duì)ASML影響最大。


且佳能還表示,這一代NIL納米壓印光刻機(jī)之后,佳能正在研究下一代,可以實(shí)現(xiàn)2nm的芯片制造,也不需要EUV光刻機(jī)。



當(dāng)然,業(yè)界對(duì)這個(gè)技術(shù)也比較質(zhì)疑,因?yàn)橹版z俠、SK海力等,與佳能合作過(guò),搞過(guò)NIL納米壓印技術(shù),還是在20多納米的時(shí)候,但那時(shí)候良率低,效率也低,現(xiàn)在進(jìn)入5nm,佳能搞定良率、效率等問(wèn)題了么?


還有人質(zhì)疑,有了NIL納米壓印光刻機(jī)后,EUV光刻機(jī)真的可以扔了么?


但我告訴大家一個(gè)事實(shí),那就是你使用NIL納米壓印技術(shù)來(lái)制造5nm芯片時(shí),其實(shí)還離不開(kāi)EUV光刻機(jī)。



NIL納米壓印技術(shù)的原理,很簡(jiǎn)單,就像蓋章一樣,第一步先雕刻一個(gè)圖章出來(lái),下一步拿這個(gè)圖章,直接印到硅晶圓上,就形成了電路圖。


只要這個(gè)圖章不磨損,就可以一直蓋章蓋下去,看起來(lái)確實(shí)簡(jiǎn)單很多,原理也簡(jiǎn)單。


但核心是這個(gè)圖章,你必須制造出和設(shè)計(jì)出來(lái)的芯片一樣大小,一樣圖案的圖章,然后才能蓋下去,如何制造這個(gè)圖章,才是真正的核心問(wèn)題。


蓋章的過(guò)程示意


目前在NIL納米壓印技術(shù)生產(chǎn)線中,圖章的制造,還是采用EUV光刻機(jī)來(lái)制造,用EUV光刻機(jī)來(lái)雕版,制造成需要的圖章,然后再利用NIL納米壓印技術(shù),拼命的往硅晶圓上蓋章,制造成芯片。


可見(jiàn),在這個(gè)技術(shù)之下,EUV光刻機(jī)依然繞不過(guò)去,只是可能需求量沒(méi)那么大了,畢竟只需要制造前期的母版就行。


但要完全繞開(kāi)EUV,似乎還不可行,并且這個(gè)NIL技術(shù),可靠性怎么樣,效率怎么樣,良率怎么樣,與其它半導(dǎo)體設(shè)備的配合又怎么樣,還不清楚,所以大家別想著,有了這個(gè)NIL光刻機(jī),EUV就不重要了,所以我們還是老老實(shí)實(shí)的,一步一步往前走,別想著繞道或偷懶,你覺(jué)得呢?



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