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不用光刻機(jī),如何制造5nm芯片?

2023-10-23 來源:騰訊網(wǎng):差評(píng)
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關(guān)鍵詞: 芯片制造設(shè)備 ASML OLED

最近,芯片圈兒又有大新聞了。


佳能搞出了個(gè)新的芯片制造設(shè)備,不用光刻技術(shù),就能造 5nm 的芯片。


而且說是再優(yōu)化優(yōu)化, 2nm 制程也不是啥大問題。



這可先把一眾網(wǎng)友們搞懵圈兒了,佳能怎么不好好造相機(jī),跑出來搞造芯片的機(jī)器了?


并且一出手就是 5nm 、 2nm 的。


而這,差評(píng)君就不得不先幫佳能找補(bǔ)幾句了,其實(shí)一直以來,佳能在芯片制造設(shè)備上都有布局,隔壁的尼康也是一個(gè)樣。


不過目前光刻機(jī)的頂尖技術(shù)一直都被 ASML 獨(dú)占,佳能眼看追不上,于是在研究光刻機(jī)的同時(shí),又找了另外一條賽道:納米壓印。



這次新聞的主角,也正是這個(gè) “ 納米壓印 ” 技術(shù),反正消息一出,吃瓜群眾們的反應(yīng)是最熱烈的。


像是什么“ 光刻機(jī)即將被取代,納米壓印戰(zhàn)未來 ” “ ASML 這下要慌了,被換賽道超車了 ” 。。。各種討論看得人一片沸騰,好像光刻機(jī)這玩意兒,以后只能在廢品回收站里看到了似的。


差評(píng)君也去大致了解了一下,卻發(fā)現(xiàn)事情比想象中的復(fù)雜,且有趣。



首先這些年來,光刻機(jī)的發(fā)展已經(jīng)逐漸走到一個(gè)瓶頸期,芯片制程的進(jìn)步速度,也肉眼可見得變慢。


沒有對(duì)比就沒有傷害,反觀發(fā)展至今才二十多年的納米壓印技術(shù),卻是一個(gè) “ 快 ” 字了得,噌噌幾年就快要趕上光刻機(jī)的進(jìn)度了。


對(duì)比上個(gè)世紀(jì)五十年代起步的光刻技術(shù),速度直接翻了一倍多。


并且,新的納米壓印技術(shù)和光刻機(jī)相比,不但成本也降了,甚至制造工藝也賊簡(jiǎn)單,更適合大規(guī)模生產(chǎn)。



這么說吧,用光刻技術(shù)造芯片,總成本要是十塊,光刻步驟就得花三塊,時(shí)間成本也占到總成本的一半。


對(duì)比之下,用納米壓印技術(shù)可以省掉將近三成的成本,要是晶圓吞吐量再提升一點(diǎn),直接就能節(jié)省一大半的成本。



更重要的是,納米壓印技術(shù)的工藝非常簡(jiǎn)單,跟蓋章一樣,像下圖這種印章各位差友們應(yīng)該都見過或者玩過吧。



納米壓印的原理呢,和它差不多,只不過是迷你微縮版。


制造的過程統(tǒng)共就分兩步,一步造 “ 印章 ” ,一步 “ 蓋章 ” 。


先在刻好電路的底板上噴涂印章所需的材料,等凝固后就是納米壓印的印章。


然后再在晶片上噴涂一層納米壓印膠,直接蓋章、等待凝固、脫模就 OK 了。



在造印章、蓋章的過程中,都不用替換工具,一個(gè) “ 噴頭 ” 就能搞定,期間只需要更換里面的材料。


而隔壁需要折來折去的 EUV 光刻技術(shù),不僅要一個(gè)龐大的透鏡陣列來控制光線,并且要產(chǎn)生這個(gè)波長(zhǎng)極短的極紫外光,還得大功率支撐著。



這樣對(duì)比之下,納米壓印技術(shù)簡(jiǎn)直是集能耗小、工藝簡(jiǎn)單、設(shè)備輕便等優(yōu)點(diǎn)于一身,不少人都認(rèn)為這會(huì)是最有可能替代 EUV 光刻的技術(shù)。



而且如今,納米壓印技術(shù)也已經(jīng)發(fā)展出了不少分支,光是壓印方式就有三種:熱壓印、紫外壓印和微接觸壓印,其中紫外壓印常用在芯片制造中,在紫外光的照射下,壓印膠很容易凝固脫模。


根據(jù)固化方式、壓印面積等分類也衍生出了很多不同的工藝。


這些工藝,除了造芯片之外,還能用在 LED 、 OLED 、 AR 設(shè)備中。



可以說,在納米壓印這塊兒,已經(jīng)有百花齊放,步入快車道的跡象了。


另外,整個(gè)芯片制造行業(yè),對(duì)納米壓印技術(shù)的關(guān)注也不少。


從 2004 年開始,上面我們提到的佳能,就開始悄悄研究起了納米壓印。2014 年它收購(gòu)了美國(guó)的一家納米壓印公司 Molecular Imprints ( 分子壓模 ),正式宣布進(jìn)入納米壓印市場(chǎng)。



后來,它還和東芝( 現(xiàn)在的鎧俠 )合作,準(zhǔn)備用納米壓印技術(shù)造 3D NAND 閃存,三星在買 EUV 設(shè)備的同時(shí),也還在著手進(jìn)行納米壓印技術(shù)的研發(fā)。


就連 SK 海力士也從佳能那邊買了納米壓印設(shè)備,準(zhǔn)備搞 3D NAND 閃存生產(chǎn)測(cè)試,并計(jì)劃在 2025 年實(shí)現(xiàn)大規(guī)模量產(chǎn)。


如果能順利實(shí)現(xiàn)商業(yè)化的話,200 層以上的 3D NAND 閃存生產(chǎn)效率會(huì)大大提高。



到時(shí)候,用納米壓印技術(shù)造 DRAM 、 CPU 等芯片自然也就不遠(yuǎn)了。


在國(guó)內(nèi),納米壓印的市場(chǎng)也是發(fā)展得火熱,不少高校像復(fù)旦、北大等都有相關(guān)的研究。前幾天佳能官宣自家的納米壓印設(shè)備之后,還順帶拉動(dòng)了國(guó)內(nèi)相關(guān)概念股,匯創(chuàng)達(dá)盤中一度漲超 14% 。


國(guó)內(nèi)的一些上市企業(yè),比如美迪凱、奧比中光、騰景科技等也都在納米壓印相關(guān)行業(yè)有所布局,并且還在繼續(xù)搞相關(guān)技術(shù)的研發(fā)。


前期,市場(chǎng)火熱最直觀的體現(xiàn)就是在專利上,目前國(guó)內(nèi)在納米壓印技術(shù)相關(guān)專利總數(shù)上排名第二,占比全球總數(shù)的 16% 。



所以說納米壓印技術(shù),妥妥是目前的當(dāng)紅辣子雞。


不過在差評(píng)君心里還有個(gè)疑團(tuán),納米壓印技術(shù)這么簡(jiǎn)單,一句話就能解釋清楚原理,為啥這么晚才被研究,不應(yīng)該早就應(yīng)用了嗎?


于是我又回過頭仔細(xì)研究了下納米壓印的工藝流程,發(fā)現(xiàn)納米壓印這技術(shù),在一開始就卡了個(gè)大 BUG 。


而這 BUG ,也算是解答了差評(píng)君的疑問,那就是:光刻機(jī)到底會(huì)不會(huì)被取代、被淘汰?


還拿蓋印章的例子來說,用這種方法做芯片,第一步首先得做印章吧,但納米壓印做那個(gè) “ 印章 ” 的模具是 1 :1 的。


但要怎么 “ 挖出 ” 印章里這種納米級(jí)的溝道?


( 溫馨提示:當(dāng)初就是因?yàn)橥诓怀黾{米級(jí)的溝道才搞出的光刻機(jī),用 5 :1 甚至 10 :1 放大后的電路板光刻。 )


所以能供納米壓印選擇的要么是光刻,要么就是實(shí)驗(yàn)室里的電子束曝光以及聚焦離子束。



emmm 合著這一圈兒又回到起點(diǎn)了。。。


不過好在那個(gè)做印章的 “ 模具 ” 可以重復(fù)使用,不用大量生產(chǎn),也算是另一種方式的節(jié)省成本,不然真就是脫褲子放屁。


當(dāng)然,除了這個(gè)大 BUG 外,納米壓印還有不少的技術(shù)難題等著解決。


平時(shí)我們自己玩印章的時(shí)候都避免不了印的不均勻,或者缺邊少角的。


而在納米尺度下的納米壓印技術(shù),這些情況就更不能避免了,像下面這些兩邊高度不一、印章變形、沒有完全契合的現(xiàn)象都是很常見的殘次品。



要避免這些殘次品的出現(xiàn),就得在技術(shù)上下功夫。


首先就是噴涂過程,也就是在晶片上噴涂納米壓印膠,在這個(gè)過程中,噴涂的厚度、均勻度等都有著嚴(yán)格的要求,并且還不能有氣泡、灰塵進(jìn)入,一旦進(jìn)入直接就報(bào)廢了。。。


解決辦法目前都是在壓印過程下功夫,局部加熱不均勻的部分,好讓印章和印膠嚴(yán)密貼合。


還有就是脫模過程,為了能讓壓印膠更好的脫模,業(yè)內(nèi)一般都會(huì)在膠上面搞上一層納米級(jí)別的抗粘性材料。


這雖然好脫模了,但這種抗粘性材料還會(huì)和模具發(fā)生摩擦啥的,模具的壽命也會(huì)因此縮短。


另外還有壓印膠材料、模具材料的選擇,模具定位及套刻精度,精確控制等等一系列問題。



這些零碎的技術(shù)難題,體現(xiàn)到產(chǎn)品上就是良率的問題。


所以,要實(shí)現(xiàn)納米壓印芯片量產(chǎn)就繞不開這些問題,而要解決這些問題,大量的研發(fā)以及試錯(cuò)成本少不了,這一切,都需要時(shí)間來支撐。


最后,再回到開頭說的納米壓印能不能取代光刻機(jī)的問題上。


相信看到這里的朋友們心里應(yīng)該都有答案了:肯定不會(huì),畢竟納米壓印在第一步就繞不開光刻技術(shù)。


更重要的是,差評(píng)君覺得,這兩種技術(shù)之間的關(guān)系并不是非此即彼,與其說納米壓印會(huì)取代光刻機(jī),不如說納米壓印是光刻技術(shù)的延伸。


就像二十世紀(jì)通用機(jī)床一樣,一開始它們只生產(chǎn)產(chǎn)品,后來轉(zhuǎn)向生產(chǎn)專用工具,專用工具再生產(chǎn)產(chǎn)品,不僅擴(kuò)大了產(chǎn)能,還降低了成本。


或許未來有一天,光刻機(jī)也會(huì)迎來這樣的角色轉(zhuǎn)變,到時(shí)候,說不定芯片制造業(yè),已經(jīng)完成了新一輪的革新。



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