按照命名法，目前只有EUV光刻機(jī)、DUV光刻機(jī)，其中DUV又分為浸潤(rùn)式光刻機(jī)ArFi，干式光刻機(jī)ArF Dry。KrF光刻機(jī)、I線、G線光刻機(jī)的說(shuō)法。

而這些光刻機(jī)，又對(duì)應(yīng)不同的工藝制程的，業(yè)界其實(shí)是沒(méi)有什么90nm、28nm、7nm光刻機(jī)之類的說(shuō)法。

但最近，卻總有新聞?wù)f國(guó)產(chǎn)28nm光刻機(jī)要來(lái)了，所以我也搞不懂，這個(gè)28nm光刻機(jī)，究竟是屬于哪一種？猜測(cè)應(yīng)該是浸潤(rùn)式光刻機(jī)中的一種吧，那為何他又是28nm呢？這個(gè)28nm是指最高工藝制程是28nm，還是指分辨率什么呢？

如果指最高工藝的話，這個(gè)28nm究竟是怎么得出來(lái)的，浸潤(rùn)式不應(yīng)該是最高7nm么，而普通的ArF Dry最高一般是65nm？

然后如果指分辨率的話，如下圖所示，ASML的浸潤(rùn)式光刻機(jī)NXT:1980Di分辨率為38nm，但能制造7nm芯片，這個(gè)28nm分辨率豈不是更先進(jìn)了？

所以我有一點(diǎn)糊涂了，搞不清楚，這個(gè)28nm光刻機(jī)，究竟是怎么回事。

另外還值得一提的，很多人總以為，有了這臺(tái)光刻機(jī)，國(guó)產(chǎn)芯片就有救了，再也不怕被卡脖子了，我覺(jué)得這事也值得商榷的，在我看來(lái)，僅有光刻機(jī)的突破，是救不了中國(guó)半導(dǎo)體的。

芯片制造，需要上百種半導(dǎo)體設(shè)備，光刻機(jī)只是產(chǎn)線上的一個(gè)主要設(shè)備，其他設(shè)備的國(guó)產(chǎn)替代和追趕同樣重要。

這是從網(wǎng)絡(luò)上得出一張圖，顯示的是幾大關(guān)鍵設(shè)備，目前國(guó)際先進(jìn)水平，與國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平的差距情況表。

大家一看就知道，目前國(guó)內(nèi)的關(guān)鍵設(shè)備，更多還是在14nm，而光刻機(jī)公開(kāi)的是在90nm，未證實(shí)的是28nm，中間還是差的有點(diǎn)距離的。

除了這些設(shè)備之外，芯片制造過(guò)程中，還需要幾十上百種材料，比如光刻膠、靶材、特種氣體等等，有些材料，目前僅日本能制造，比如EUV光刻膠等。

你看看，這僅僅是一臺(tái)光刻機(jī)的事情么？是眾多個(gè)與光刻機(jī)一樣重要的事情結(jié)合在一起，光刻機(jī)只是其中的一環(huán)而已。

說(shuō)實(shí)話，目前美帝如果僅自己一家的力量，也搞不定14nm芯片，必須整合全球供應(yīng)鏈，一個(gè)國(guó)家想要高度國(guó)產(chǎn)化搞定芯片產(chǎn)業(yè)鏈，制造出先進(jìn)的芯片來(lái)，需要連續(xù)不斷N多年如一日地投資投資再投資。

不僅要投資半導(dǎo)體設(shè)備、材料企業(yè)，還要想辦法讓下游的企業(yè)，有動(dòng)力用國(guó)產(chǎn)芯片，而芯片企業(yè)有動(dòng)力購(gòu)買國(guó)產(chǎn)設(shè)備、國(guó)產(chǎn)材料，這個(gè)過(guò)程需要巨額投資，更需要時(shí)間，不是一臺(tái)光刻機(jī)就能夠解決的事情。