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荷蘭半導體設(shè)備出口禁令發(fā)布,對中國芯片產(chǎn)業(yè)影響多大?

2023-07-03 來源:只談數(shù)碼科技
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關(guān)鍵詞: 芯片 光刻機 半導體設(shè)備

眾所周知,美國打壓中國的芯片產(chǎn)業(yè),有著明顯的目標,針對邏輯芯片、DRAM內(nèi)存,NAND存儲芯片這三種產(chǎn)品,有著明確的目標:

  1. 采用16nm或14nm及以下非平面FinFET或GAAFET晶體管結(jié)構(gòu)的邏輯芯片;

  2. 半間距小于等于18nm的DRAM存儲芯片;

  3. 128層及以上的NAND閃存芯片。


而生怕封鎖不到位,美國在今年,還聯(lián)手日本、荷蘭一起對半導體設(shè)備進行限制。


之前日本的半導體設(shè)備出口限制已經(jīng)發(fā)布出來了,一共是23種半導體設(shè)備被列入了限制出口清單,7月23日起開始實施。


而近日,荷蘭的半導體設(shè)備出口限制也正式發(fā)布,該措施將于2023年9月1日正式生效。



那么問題來了,荷蘭的這個半導體設(shè)備禁令,對我們的芯片產(chǎn)業(yè)影響有多大?


從荷蘭的新規(guī)則來看,管制的對象主要為先進的芯片制造技術(shù),包括先進的沉積設(shè)備和浸潤式光刻系統(tǒng),而受限制的企業(yè),主要是ASML和ASM International。


從具體的設(shè)備來看,用于EUV技術(shù)的所有設(shè)備、技術(shù)、材料,都是不能出口的,比如EUV光刻機,EUV光罩保護膜、EUV光罩保護膜生產(chǎn)設(shè)備。



而在光刻機上,波長小于193nm的光刻機,是不允許出口的,也就是EUV光刻機是不行的。


而針對193nn的光刻機,則加了限制條件,如果能夠生產(chǎn)45nm或更小分辨率,且小于或等于1.50nm最大專用卡盤覆蓋值(DCO值)的光刻機,則不能出口。


浸潤式光刻機,采用的是193nm光線,其中分辨率小于45nm,同時DCO值小于等于1.5nm的全部不能出口。


但其中其NXT1980系列,其分辨率為38納米左右,但是其DCO值是小于等于1.6nm,所以不受限制,能夠出口,與之前ASML說的一致,浸潤式光刻機中,這一款能夠出口。



另外,還有用于金屬剝離的原子層沉積(ALD)設(shè)備、設(shè)計用于硅(Si)、碳摻雜硅、硅鍺(SiGe)或碳摻雜SiGe外延生長的設(shè)備,以及一些先進的設(shè)備、技術(shù)、軟件等,都被限制出口,如果需要購買這些設(shè)備/技術(shù),需要許可證才行。


但總體來看,針對的還是14nm及以下的工藝,對于成熟工藝,并沒有太多的限制,與美國之前的目標差不多,那就是以鎖死14nm工藝為基本目標。


從美、日、荷三國的禁令來看,14nm及以下的設(shè)備,短時間之內(nèi),我們是無法從國外買到了,只能靠自己,如果自主產(chǎn)業(yè)鏈不能突破,那么我們就會一直被困在14nm以上。



而這估計也是中芯之前官方下線14nm工藝介紹的原因,因為確實短時間來看,14nm工藝可能是一道坎,跨不過,所以暫時下線。


而14nm以上的設(shè)備,暫時還是不受限制的,我們可以從國外買到相關(guān)設(shè)備,所以在成熟工藝上,倒不需在太擔心。


可見,接下來,國產(chǎn)芯片產(chǎn)業(yè)在進入先進工藝方面,已經(jīng)沒有任何捷徑可走,放棄一切幻想,唯有不斷突破,實現(xiàn)全面的自主可控,一步一個腳印前進才行了。



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