發(fā)力NIL技術(shù),佳能想給中國(guó)提供光刻機(jī),還是媲美EUV的那種
眾所周知,目前芯片的制造流程中,光刻機(jī)是必不可少的設(shè)備,且從成本來(lái)看,光刻機(jī)占所有半導(dǎo)體設(shè)備成本的20-25%。
但是大家也清楚,當(dāng)前在光刻機(jī)領(lǐng)域,ASML是一家獨(dú)大,特別是EUV光刻機(jī),只有ASML能夠生產(chǎn),而在尖端一點(diǎn)的DUV光刻上面,也是ASML占優(yōu),佳能、尼康等品牌,主要占的是低檔市場(chǎng)。
如上圖所示,這是機(jī)構(gòu)統(tǒng)計(jì)的2021年前道光刻機(jī)出貨量情況,大家可以看到高檔的EUV光刻機(jī),ASML完全壟斷,低檔尼康、佳能有一定的份額。
而中國(guó)大量需要光刻機(jī),特別是EUV光刻機(jī),這就造成了市場(chǎng)與需求的不匹配,但ASML也沒(méi)辦法啊。
所以其它廠商有一個(gè)非常大的機(jī)會(huì),那就是搞定EUV光刻機(jī),然后賣給中國(guó),那會(huì)是巨大的市場(chǎng)。
不過(guò),要掌握EUV光刻機(jī)技術(shù),可不容易,因?yàn)锳SML造EUV光刻機(jī),是整合了全球的技術(shù),美國(guó)的光源、德國(guó)的鏡片、英國(guó)的真空腔,可以說(shuō)是舉全球之力完成的。
雖然尼康、佳能、上海微電子都有光刻機(jī),但要搞定EUV光刻機(jī),估計(jì)是沒(méi)太多辦法的,ASML攢局的能力太強(qiáng)了,已經(jīng)將利益鏈捆綁在一起了。
為此,這要怎么辦呢?當(dāng)然就要換道超車了,比如佳能,知道在EUV上是不可能打敗ASML的,所以一直押注納米壓印光刻(NIL)技術(shù)。
所謂NIL技術(shù),是將三維結(jié)構(gòu)的掩膜壓在晶圓的感光材料上,同時(shí)照射光線完成一次性轉(zhuǎn)印,被稱為是最有前景的光刻技術(shù)之一。
目前在NIL的專利上,佳能一支獨(dú)秀,遠(yuǎn)超其它任何廠商,并且佳能的NIL光刻機(jī)不僅僅是停留在紙面上,而是已經(jīng)有有生產(chǎn)出來(lái)了,在2021年就有了成品,并且被鎧俠應(yīng)用于NAND閃存的生產(chǎn)。
佳能近日表示,接下來(lái)會(huì)研發(fā)新一代的NIL光刻機(jī),新一代的NIL光刻機(jī),有可能應(yīng)用于28nm甚至14nm及以下的工藝。
值得大家注意的是,目前NIL技術(shù),基本上都是日系廠商掌握,并不需要依賴美國(guó)、歐洲等的產(chǎn)業(yè)鏈,也就是說(shuō)NIL光刻機(jī),日本一旦生產(chǎn)出來(lái),可以不聽(tīng)美國(guó)的,不受美國(guó)的長(zhǎng)臂管轄,也意味著佳能一定生產(chǎn)出來(lái),是可以賣給中國(guó)的。
當(dāng)然現(xiàn)在的問(wèn)題是,能夠媲美EUV光刻機(jī)的NIL光刻機(jī),究竟會(huì)在什么時(shí)候面市,如果佳能能夠?qū)崿F(xiàn)這個(gè)技術(shù),全球的半導(dǎo)體格局都有可能生變。
一旦媲美EUV光刻機(jī)的NIL光刻機(jī)面市,以ASML為中心,以為美國(guó)意志為體現(xiàn)的的先進(jìn)工藝制程,可能就再也不聽(tīng)美國(guó)的了,會(huì)迎來(lái)蓬勃發(fā)展,可能全球都在盼望著佳能的大動(dòng)作,特別是中國(guó)。
