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1臺EUV光刻機1年耗電超1000萬度!2025年臺積電將消耗全臺12%電力

2022-08-29 來源:互聯網亂侃秀
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關鍵詞: 光刻機 集成電路 TSMC

8月25日消息,據彭博社報導,為制造制程更先進、耗電更少的芯片,往往制造需要大量的電力。


光刻機巨頭ASML最先進極紫外(EUV)光刻機,每臺預估耗電1MW(megawatt,百萬瓦),約為前幾代設備的10 倍,加上制造先進制程芯片還沒有其他替代設備,因此半導體產業(yè)蓬勃發(fā)展,恐嚴重影響全球減碳進度。


而EUV光刻機之所以耗電,主要是由于“EUV 的能源轉換效率(wall plug efficiency)只有 0.02% 左右。


而造成轉換率低的一大原因是,極紫外光本身的損耗過大。



極紫外光物理特性與一般常見的紫外光差異極大。這種光非常容易被吸收,連空氣都不透光,所以整個生產環(huán)境必須抽成真空;同時,也無法以玻璃透鏡折射,必須以硅與鉬制成的特殊鍍膜反射鏡,來修正光的前進方向,而且每一次反射仍會損失 3 成能量,但一臺 EUV 機臺得經過十幾面反射鏡,將光從光源一路導到晶圓,最后大概只能剩下不到 2% 的光線?!边@也是 EUV 機臺如此耗電的主因之一。


如果按照前面的EUV能源轉換效率只有0.02% 來計算,目前先進的能輸出 250 瓦功率的 EUV的機臺,需要輸入0.125萬千瓦的電力才能達到,這個耗電量是傳統(tǒng)氬氟雷射的 10 倍以上。換句話來說,就是一臺輸出功率250W的EUV光刻機工作一天,將會消耗3萬千瓦時,也就是說,一年的耗電量就超過1000萬千瓦時。        



報道稱,臺積電目前擁有80 臺EUV 設備,且正在安裝新一代的EUV設備。照此估算,臺積電一年,僅這80臺EUV光刻機的耗電量將高達8億千瓦時。而這也僅僅只是臺積電晶圓制造的上百個環(huán)節(jié)當中最為耗電的一個部分。


根據數據統(tǒng)計,臺積電2020年的耗電量達到了160億千瓦時,占據整個臺灣5.9%的用電總量。2021年臺積電實際用電量已接近170億度。另外,由于近兩年的缺芯推動了臺灣島內晶圓廠的建設開始加碼。資料顯示,今明兩年,臺積電將在臺灣島內興建11座晶圓廠,其中大部分為生產3nm及2nm先進制程的晶圓廠。由于這些尖端制程晶圓廠必須用到EUV光刻機,因為耗電量將會進一步大幅增長。


彭博社稱,照這樣運作,預計2025 年,臺積電的耗電量將將占全臺灣整體能源消耗的12.5%,較2020年的近6%還要高出1倍。除了臺積電,美光臺中廠也使用至少一種EUV 設備。



彭博分析師Charles Shum 預估,3 年內臺灣的晶圓代工廠四分之一芯片制造都需要用到EUV 設備。


臺灣中央大學管理講座教授梁啟源也認為,除非晶圓廠開始自己蓋發(fā)電廠,否則臺灣沒有足夠電力滿足產業(yè)需求。


綠色和平組織的氣候和能源活動家Tracy Cheng 指出,半導體廠對臺灣經濟至關重要,其他地區(qū)恐會更強烈感受到電力短缺影響,且缺電肯定會發(fā)生,“臺積電占用全臺灣大部分能源供應,損害其他產業(yè)?!?/span>


臺積電生產對環(huán)境的影響程度,主要取決于發(fā)電來源。研究業(yè)者Imec 永續(xù)發(fā)展專案主管Lars-Ake Ragnarsson 指出,臺灣有許多需要運行如此高耗能設備的晶圓廠,使可再生能源更重要緊迫,但臺灣卻嚴重依賴化石燃料。


臺灣政府2016 年制定目標,到了2025 年,20%電力來自可再生能源。然而7 月最新能源審查顯示,截至2021 年底,只有6% 電力是可再生能源,促使當局下調2025 年目標至15%。


整體來說,雖然有機會找到更環(huán)保的方式制造芯片,但沒有任何廠商愿意放慢腳步。Ragnarsson 認為,半導體產業(yè)發(fā)展過于迅速,也有很多問題需解決,但這需要時間和成本,如果什么都不做,問題只會更糟。



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